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手套箱适用小型离子溅射仪

简要描述:JS-600手套箱适用小型离子溅射仪采用二极(DC)直流溅射原理设计,操作简单方便,适用于扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极的制作。该产品适用于手套箱。

  • 产品型号:JS-1600
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-21
  • 访  问  量:581
详情介绍

JS-1600手套箱适用小型离子溅射仪采用二极(DC)直流溅射原理设计,操作简单方便,适用于扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极的制作。

用户可以根据自己的需要自行选择不同的真空条件,溅射电流。大尺寸的真空腔体设计,满足大样品的溅射需求。标配一片金靶,纯度为99.999%,为获得高质量的金膜提供了好的基础。

JS-1600手套箱适用小型离子溅射仪主要技术指标如下:

1.靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 纯度:99.999%;

2、真空室:直径:160mm,高:120mm;

3.样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm;

4.工作真空: 8×10-2—2×10-1 mbar;

5.离子电流表:50mA;

6.数显计时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间;

7.电压:-1600DVC;

8.机械泵:2升/每秒;

9.工作室工作媒介气体:空气或氩气;

10.微型真空气阀: 配有氩气专用进气口和微量充气调节,可连接φ3mm软管;

11. 外型尺寸:360mm×300mm×380mm;

备注:JS-600小型离子溅射仪可适用的靶材:金、铂、银。




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