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桌面型小型离子溅射仪操作注意事项

发布时间: 2023-02-20  点击次数: 321次
  桌面型小型离子溅射仪分为低真空离子溅射和高真空离子溅射,根据原理又分为高电压直流、低电压磁控和离子束三种原理。
 
  桌面型小型离子溅射仪工作时,接通高压,阴极发射电子,电子能量增加到1-3kev,轰击低真空中(3-10pA)的气体,使其电离,激发出的电子在电场中被加速,继续轰击气体,产生联级电离,形成等离子体。
 
  离子以1-3kev的能量轰击阴极靶,当其能量高于靶材原子的结合能时,靶材原子或者原子簇,脱离靶材,又经过与等离子体中的残余气体碰撞,因此方向各异,当落在样品表面时,可以在粗糙的样品表面形成厚度均一的金属薄膜,而且与样品的结合强度高。
 
  如果工作室中的气体持续流动,保持恒定压力,这时的离子流保持恒定。高压的功率决定了大离子流,一般有大离子流限制,用于保护高压电源。
 
  桌面型小型离子溅射仪操作注意事项:
 
  1、一般工作距离可调,距离越近,溅射速度越快,但热损伤会增加。
 
  2、离子流的大小通过控制真空压力实现,真空度越低,I越大,溅射速度越快,原子结晶晶粒越粗,电子轰击样品(阳极)产生的热量越高;真空度越高,I越小,溅射速度越慢,原子结晶晶粒越细小,电子轰击样品产生的热量小。
 
  3、加速电压为固定,也有可调的,加速电压越高,对样品热损伤越大。一般使用金属靶材的正比区域。
 
  4、有些热敏样品,需要对样品区进行冷却,水冷或者帕尔贴冷却;也可以采用磁控装置,像电磁透镜一样把电子偏离样品。经过这样的改造,当然会增加很高的成本。可以在石蜡表面溅射一层金属,而没有任何损伤。
 
  5、真空中的杂质越多,镀膜质量越差。一般黄金比较稳定,可以采用空气作为等离子气源,而其他很多靶材则需要惰性气体为好。
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