桌面型小型离子溅射仪操作注意事项

　　桌面型小型离子溅射仪分为低真空离子溅射和高真空离子溅射，根据原理又分为高电压直流、低电压磁控和离子束三种原理。

 

　　桌面型小型离子溅射仪工作时，接通高压，阴极发射电子，电子能量增加到1-3kev，轰击低真空中（3-10pA）的气体，使其电离，激发出的电子在电场中被加速，继续轰击气体，产生联级电离，形成等离子体。

 

　　离子以1-3kev的能量轰击阴极靶，当其能量高于靶材原子的结合能时，靶材原子或者原子簇，脱离靶材，又经过与等离子体中的残余气体碰撞，因此方向各异，当落在样品表面时，可以在粗糙的样品表面形成厚度均一的金属薄膜，而且与样品的结合强度高。

 

　　如果工作室中的气体持续流动，保持恒定压力，这时的离子流保持恒定。高压的功率决定了大离子流，一般有大离子流限制，用于保护高压电源。

 

　　桌面型小型离子溅射仪操作注意事项：

 

　　1、一般工作距离可调，距离越近，溅射速度越快，但热损伤会增加。

 

　　2、离子流的大小通过控制真空压力实现，真空度越低，I越大，溅射速度越快，原子结晶晶粒越粗，电子轰击样品（阳极）产生的热量越高；真空度越高，I越小，溅射速度越慢，原子结晶晶粒越细小，电子轰击样品产生的热量小。

 

　　3、加速电压为固定，也有可调的，加速电压越高，对样品热损伤越大。一般使用金属靶材的正比区域。

 

　　4、有些热敏样品，需要对样品区进行冷却，水冷或者帕尔贴冷却；也可以采用磁控装置，像电磁透镜一样把电子偏离样品。经过这样的改造，当然会增加很高的成本。可以在石蜡表面溅射一层金属，而没有任何损伤。

 

　　5、真空中的杂质越多，镀膜质量越差。一般黄金比较稳定，可以采用空气作为等离子气源，而其他很多靶材则需要惰性气体为好。